ITO靶材的制备通常采用物相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）等方法。PVD法通过溅射技术将铟和锡等材料沉积在基材上，形成ITO薄膜。CVD法则是通过气相反应在基材表面生成ITO薄膜。这两种方法都能够生产高质量、均匀的ITO薄膜，但PVD法更为常见。
ITO靶材作为重要的透明导电材料，在电子产业中扮演着重要角色。为了实现资源的可持续利用，铟元素的回收变得尤为重要。目前，化学、物理和电化学回收法都在不同程度上取得了一定的成果，但仍需要进一步的研究和改进。随着技术的不断发展，我们有望找到更加、环保的ITO靶材回收方法，为电子产业的可持续发展做出贡献。
回收的钯需要进行妥善的保存，以避免氧化或污染。以下是几种常见的回收钯的保存方式：
1. 密封保存
将回收的钯放入密封容器中，排除空气，以避免氧化。容器应选择硬纸盒或纸板制成的可密封的容器，同时容器内应放置吸湿剂以保持干燥。
2. 防潮保存
钯是一种金属粉末，容易吸湿并与空气中的氧气发生反应。因此，回收的钯应存放在干燥的环境中，并保持容器密封，以避免受潮和氧化。
3. 分类保存
不同类型的钯回收料应分别存放，以避免不同类型料之间的相互污染。同时，不同类型的料也应进行标识和记录，以便于管理和追踪。
4. 定期检查
定期检查回收钯的保存情况，如发现有氧化或污染等问题，应及时采取措施进行处理。同时，也应对保存容器进行检查，以确保其密封性和完好性。
铑废料主要来自于铑的生产和使用过程中的废弃物，如催化剂、化学反应废料、金属加工废料等。由于铑的价值高昂，回收铑废料不仅可以节约资源，还可以为企业带来可观的经济效益。因此，许多专业的金属回收公司都会开展铑废料的回收业务。