设备名称：台式等离子蚀刻设备、制造商：日本制造商

半導体故障解析用試料の前処理（配線露出）から各種プラズマ加工に幅広く対応致します、局所的なプラズマ加工が可能、低残渣かつ高速加工を実現、試料を移動させた広範囲の加工が可能

詳細仕様：

1、型式TP-50B装置寸法装置本体：

2、装置寸法、装置本体：：240mm(W) × 390mm(D) × 350mm(H)、重量：20 kg

3、ステージ仕様：3軸ステージ（Z軸手動、X,Y軸電動ステージ）

4、搭載試料：搭載可能サイズ：100mm × 100mm × t10mm

5、対応可能ガス：N2、D.A、Ar（CF4,O2はオプションとなります）

6、対象材料：有機膜、Si、SiO2、SiN、SiC（エッチングにはCF4ガスが必要となります）

吸引プラズマの利点：プラズマ発生ノズルからプロセスガスを直接排気する加工方法を吸引プラズマと呼んでおります。吸引プラズマは、プロセスガスをプラズマ発生ノズルから吹き付ける従来の加工方法に比べて様々な利点があります。

利点1. 局所加工精度向上：噴出プラズマの場合、プラズマが試料表面に広がる事で加工範囲が広くなります。しかし、吸引プラズマの場合、プラズマはノズル直下のみに発生する為、より局所的な加工が可能です。

利点2. 残渣の低減：吸引プラズマはエッチングの反応生成物をプラズマ発生ノズルから直接排気する事で残渣の発生を低減することが可能です。

利点3. 加工温度の低減

进口机械设备清关流程：

一、设备进口分类

1. 加工机床类：机械手臂、二手工业机器人、数控铣床、数控车床、数控磨床、CNC加工机床、钻床精密冲床、激光切割机、锻压机床、齿轮加工机床等

2. 半导体设备:贴片机、点胶机、涂胶显影机、光刻机、切片机、真空镀膜机、气相沉积装置、固晶机等

3. 仪表仪器类：色谱仪、三坐标测量仪、实验仪器、IC测试机、生物仪器、测试台、工业检测仪器、医疗检测仪器、分析仪等

4. 印刷设备类：海德堡、罗兰、高宝、三菱、小森、胶印机、移印机、数码印刷机、转杯印刷机、凸版印刷机、苯胺印刷机、印报机

5. 其他工业设备：医疗设备、条码设备、封口机、贴标机、包装机、食品饮料设备、化工设备、清洗设备、灌装机、冲压机、压铸机、干燥炉、特种设备、火花机、生产线等

二、进口所需清关资料

1.进口经营单位（收货人）的营业执照；对外贸易经营者备案

2.箱单；发票；合同；提单；货物照片等

3.装运前预检讨申请书;

4.拟进口旧设置装备清单（包括：称号、编码、数目、规格型号、产地、创造日期、制造商、新旧状况、购买的价格、用处）。

5.其他相关资料

三、设备进口流程

1.新设备

1）确定HS海关编码和海关监管条件（机电证等）

2）安排海空运，确定和国外的贸易方式（常见EXW;FOB;CIF）

3)货物到港，整理清关资料

4）换单—报关报检—缴税—海关查验/放行—如查验，安排查验计划—配送到指定位置

2.旧设备

1）确定HS海关编码与监管条件（CCIC或者免CCIC；是否需要办理机电证）

a.办理装运前检验检疫CCIC

b.办理机电证（自动或者重点）

2）确定进口的贸易方式，安排国际海空运

3）货物到港，提前整理进口的清关资料

4)换单—报关报检—审价—缴税—海关查验—海关放行—目的地查验

四、设备进口一般时效

1.备案机械设备,一般进口的二手设备机电证需求5个工作日，重点二手电机证需要去北京的商检办理，正常需要15个工作日。

2.装运前检验检疫，需要在国外发货前安排，正常4-7个工作日

3.海运（欧洲，美国等远洋线38天，日本；韩国等近洋线5-6天）；空运1-2天

4.上海口岸报关，3个工作日

5.配送，需要看距离远近，市内当天达，其余看时机情况