洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒服感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

洁净室内静电导致的事故有以下几方面；

1．静电电引起的静电电击，引起人和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒，由摔倒又致伤)；

2-静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等破坏和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅严重击穿者计39块，失效率竞达78，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；

3．静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作；

4．静电放电的发光可导致照像肢片等感光破坏；

5．静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染；净化工程

6．静电放电引起的危险的灾害是成为可燃物的火源井引起爆炸，例如国外文献统计，在手术室使用爆炸性麻醉剂的86000次中，爆炸的36次，其中由静电引起的达21次。

火灾蔓延途径多、蔓延速度快。无尘车间内通风管道、电气线路套管、技术夹层等彼此串通，发生火灾，特别是火势初起未被发现而继续送风，风管成为烟火迅速外串、殃及其它房间的重要通道，易造成烟热气流向其它房间和区域，造成火灾迅速蔓延。

洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及良好的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是：

1．烦恼的效应由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率，层流罩。

2．对工作效率的影响这主要看三方面的反应水平，这三个方面是：集中精神动作准确性工作速度

3．对综合通讯的干扰。