静电事故的产生主要在于静电的产生和积累,而气流的流动,气流和管道、风口、过滤器等摩擦,人体和衣服的摩擦,衣服之间的摩擦,工艺上的研磨,喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作,所有选些都可能产生静电,在一般情况下,越是电导率小的非导体(绝缘体),由于电荷产生后不易流动,因此表现为越容易带电。
静电问题所以在洁净室中特别严重,是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素,而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面,尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率,都易产生静电和集聚静电,在洁净室的静电灾害未被重视以前,这些材料料是被广泛采用的。
无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室:
⑴天花板系统
包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
⑵空调系统
包括空气舱、过滤器系统、风车等。
⑶隔墙板(Partitional wall)
包括窗户、门。
⑷地板
包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。
⑸照明器具
包括日光灯、黄色灯管等。
⑹无尘室之建筑主体构造
一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,满足如下之条件:
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;
B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;
C.吸湿性小;
D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高。
无尘车间风管穿过需要封闭的防火防爆楼板或墙体是采取的措施。应设钢板厚度不小于1.6mm的预埋管或防护套管,无尘车间风管与防护套管之间应采用不燃柔性材料封堵。无尘车间风管穿越建筑物变形缝空间时,应设置柔性短管,无尘车间风管穿越建筑物变形缝墙体时,应设置钢制套管,无尘车间风管与套管之间应采用柔性防水材料填充密实。